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潔凈室標(biāo)準(zhǔn)和級別概況

2025-11-13

1961年誕生了世界上最早的潔凈室標(biāo)準(zhǔn)即美國空軍技術(shù)條令203，并把編制聯(lián)邦政府標(biāo)準(zhǔn)的任務(wù)交給了原子能委員會的出版機構(gòu)。1963年底頒發(fā)了潔凈室第一個軍用部分的聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)即FS209(按:美國國家標(biāo)準(zhǔn)為ANSI)。從此，美國聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)209 即成為國際上最通行、最著名的潔凈室標(biāo)準(zhǔn)。如果說當(dāng)時通過對各類生產(chǎn)環(huán)境潔凈度進(jìn)行大量調(diào)研后得到的認(rèn)識一潔凈室內(nèi)塵粒分布規(guī)律基本上接近對數(shù)正態(tài)分布，從而提出了這一分布的平行線關(guān)系，是標(biāo)準(zhǔn)203的重要基石，那么美國的威利斯·華德弗爾德提出的關(guān)于潔凈室的層流概念(這不是流體力學(xué)上的同一概念)則是標(biāo)準(zhǔn)209的理論基石，也是后來各種潔凈室標(biāo)準(zhǔn)的基礎(chǔ)。
1966年頒布了修訂后的209A，1973年又頒布了修訂的209B，并于1976年再次頒行了 209B修正案1。
在這一段時期里，許多國家也相繼制定了潔凈室的標(biāo)準(zhǔn)，其內(nèi)容特別是潔凈度分級基本參照美國標(biāo)準(zhǔn)。
但是，由于濫用聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)209B，加之原標(biāo)準(zhǔn)中一些概念不清，以及對所謂10級、1級潔凈度的需要，促使美國修改209B。這一工作首先由IES(美國環(huán)境科學(xué)協(xié)會)發(fā)起，經(jīng)GSA(美國總務(wù)管理局)認(rèn)可和授權(quán)，成立了RP-50委員會，包括來自政府、微電子公司、儀器制造廠的人員，潔凈室顧問、潔凈室用戶及潔凈室測試人員，終于在1987年10月27日頒發(fā)了FS209C。209C又于1988年6月15日被新的209D所取代，209D又于1992年3月11日被209E取代，