詢(xún)盤(pán)
潔凈度級(jí)別
電子工業(yè)潔凈室(廠房、車(chē)間)所要求的基本空氣潔凈度級(jí)別已在第二章中給出了范圍,在<<電子潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范>>(征求意見(jiàn)稿)中列舉了具體要求,見(jiàn)表9-1